機能性薄膜作製のためのスパッタリングターゲット</br>—技術課題と今後への指針—

真空

Online ISSN : 1880-9413
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機能性薄膜作製のためのスパッタリングターゲット
—技術課題と今後への指針—

高橋研, 斉藤伸, 角田匡清

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ジャーナルフリー

2007 年 50 巻 1 号 p. 22-27

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.50.22

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