真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
プラズマCVD法による窒化チタン膜形成
真壁 遼治, 青木 正樹, 望月 昭一, 木村 三郎, 中島 貞夫, 田畑 収
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1985 年 28 巻 5 号 p. 443-445

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