真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
高温イオン化反応法による Si-carbide 膜 (II)
佐藤 義幸, 林 英雄, 田畑 三郎
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1985 年 28 巻 5 号 p. 446-449

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