真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
HCD-ARE法による炭化ケイ素膜の形成
渡辺 一弘, 田中 一郎, 斉藤 一也, 稲川 幸之助, 伊藤 昭夫
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1985 年 28 巻 5 号 p. 460-463

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