真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
アーク放電形高真空イオンプレーティングによる反応生成膜の作製
川下 安司, 中曽根 正美, 寺山 暢之, 野間 正男
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1985 年 28 巻 5 号 p. 464-466

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