真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
プラズマCVD法により作製したクロムオキシカーバイド皮膜の特性
門 哲男, 荒木 道郎
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1989 年 32 巻 3 号 p. 274-276

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