Journal of the Vacuum Society of Japan
Online ISSN : 1882-4749
Print ISSN : 1882-2398
ISSN-L : 1882-2398
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真空内可動部の低発塵化に向けて，高性能マグネットの活用
株式会社エフ・イー・シー
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2008 年 51 巻 11 号 p. 760-762

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