Journal of the Vacuum Society of Japan
Online ISSN : 1882-4749
Print ISSN : 1882-2398
ISSN-L : 1882-2398
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Direct Simulation Monte Carlo 法のターボ分子ポンプへの適用
筒井 慎吾, 二木 敬一
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2015 年 58 巻 7 号 p. 253-256

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