Journal of the Vacuum Society of Japan
Online ISSN : 1882-4749
Print ISSN : 1882-2398
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医療用ダイアモンド状炭素（DLC）成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ（HiPIMS）用パルス電源の開発
黒岩 雅英, 中谷 達行
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2017 年 60 巻 9 号 p. 372-375

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