高密度キャピラリ・ニードル型エミッタ電極を有するエレクトロスプレーイオン源の作製

抄録

イオン液体を用いるエレクトロスプレーイオン源は，小型かつ宇宙空間での作動が可能なため，小型宇宙推進機への応用研究が精力的に行われている．一方，現状では推力密度が小さいため，エミッタの高密度集積による推力密度増大が必要である．著者らは電界放出電子源の作製工程を応用して，従来型と比べ4桁大きいエミッタ数密度を有し，キャピラリ内部にニードルを配した二重電極構造を持つエミッタアレイ作製を行った．