真空凍結乾燥装置向けサファイア隔膜真空計の開発

抄録

半導体製造プロセス向けにサファイアを使用した隔膜真空計を開発し、高精度かつ良好な長期安定性等の特長を活かし真空凍結乾燥装置にも採用された。しかし定置洗浄及びその後の滅菌工程によりゼロ点がシフトするトラブルが発生した。 これを改善すべく工程中の各所の温度計測及び熱流体シミュレーションを実施しシフト原因を推定した。これに基づいて真空凍結乾燥工程に耐えうる隔膜真空計を開発したので報告する。