Co-sputterによるβ-FeSi₂薄膜の組成と光学特性の制御に関する研究

抄録

本研究は赤外線ヒーターや波長選択赤外源へ応用できる高性能の波長選択フィルターを実現するため、スパッタ膜のFeとSiの組成比とβ-FeSi₂薄膜の光学特性との関係を調べた。FeSi₂とSiターゲットを同時にスパッタする際に、印加電力を調整することによりSiの添加量を制御して実験を行った。その結果、赤外域で吸収がほぼ0のβ-FeSi₂薄膜の作製を成功した。