日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2020年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 3Cp04
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11月21日
熱フィラメントCVD 法によるルテニウムを触媒とした単層カーボンナノチューブの成長
*坂本 拓也石川 豊
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抄録

白金族がSWCNTの成長触媒として機能することが分かってきている。Ruについても報告がある。しかし、比較的安価な熱フィラメントCVD法では報告がない。Ruを触媒とし、熱フィラメントCVD法によるSWCNTの成長を、炭素源にエタノールを用いて行った。成長温度700℃では、繊維状の生成物が見られた。また、ラマンスペクトルではGバンドとRBMが見られ、生成物中にSWCNTが含まれていることが分かった。

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© 2020 日本表面真空学会学術講演会
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