アモルファス炭素膜のプラズマ気相化学堆積に対するベンゼン供給位置の影響

抄録

アモルファス炭素膜をプラス化学気相堆積法で堆積させるとき，様々なパラメータがあるが，原料の供給いつも重要なパラメータである。今回，ガラス管にコイルを巻いたプラズマ源を備えたチャンバーにを使って，チャンバー内に入れた基板に膜堆積を行う際に，プラズマ源側からベンゼンを供給した場合，チャンバーの基板設置部の下側からベンゼンを供給した場合の膜中の化学結合状態の違いについて赤外分光法で調べたので発表する。