負のプラズマ電位を持つ直流マグネトロンスパッタリング放電の構造

抄録

Mgをターゲットし，Ar-CF₄混合ガスを放電ガスとする直流反応性スパッタリング放電においてプローブ測定により得られた陰極シース電位差および陽極（接地）シース電位差，および電子／負イオン電流比についての測定結果より，電気的に陰性な直流放電の構造，さらにはプローブ測定において負イオン電流による電流−電圧特性の対称性が明確に現れないことの要因と放電構造の関連について考察していく．