日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2020年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1P39
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11月19日
Poschenrieder-Atom Probeの再検討
*谷口 昌宏
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抄録

トロイダルセクターによる静電偏向レンズを用いたアトムプローブについて、その再検討を電界シミュレーションによって行なった。その結果、従来の設計値に対して端縁場の効果を含めて配置を行うことでより設計意図に沿った動作が可能であると分ったので、それに基いて再設置した装置の特性を報告する。

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© 2020 日本表面真空学会学術講演会
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