原子状水素照射装置の製作

抄録

ニュースバル放射光施設のビームライン7Bのエンドステーションに加熱されたタングステンで発生する原子状水素を用いた表面処理装置を製作した。この装置は、エンドステーションに直接取り付けているため、原子状水素を大気に晒すことなしに試料を評価することができる。原子状水素処理後、X線光電子分光により、炭素由来の表面汚染物が除去が除去できることを確認した。