NEGコーティングに吸着するガスの再活性化過程と排気性能への影響

抄録

非蒸発ゲッター(NEG)材は化学吸着や吸蔵により排気し、再活性化過程では表面吸着ガスを内部に拡散して綺麗な表面を取り戻す。そのため、再活性化回数を増やすと、飽和により排気性能が劣化する。本研究では、NEG材であるTiZrVをコーティングしたダクトの使用寿命の向上を目指して、異なる種類のガスを吸着させ、再活性化過程での脱離特性や排気性能変化への影響を調べた。