非蒸発ゲッタポンプに用いる鋸歯形状基板へのZrスパッタ製膜

抄録

非蒸発ゲッタ (NEG) は加熱により表面を活性化し、残留ガスを吸着・排気する材料である。表面積が大きい鋸歯形状の基板へ典型的なNEG材料であるZrをスパッタ製膜し、膜厚分布を評価した。構造を持つ基板へ膜厚を均一に製膜するため、2方向から製膜できるデュアルカソード装置を使用し、基板の回転を行った。谷から山へ向かうにつれて膜厚は増加し、膜厚比は2.2倍となった。今後は他の手法により均一性の向上を目指す。