陽極へのNEGコーティングによる真空放電抑制の検証実験

抄録

超高真空中の電極間放電は電子刺激脱離が深く関与し、特に陽極で発生するイオンの抑制により真空放電を抑制できる可能性がある。そこで，表面が排気能力を持つ以外に電子刺激脱離を抑制できる非蒸発型ゲッター(NEG)材を電極に成膜し，そのNEG膜の評価を行う。成膜した電極による放電試験によりイオン発生源となる電子刺激脱離そのものを低減化することで，真空放電が抑制されるかを実験により検証する。