主催: 日本表面真空学会
国立研究開発法人産業技術総合研究所
株式会社フクダ
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これまで漏れ孔径とリーク量の関係は、層流(ハーゲン-ポアズイユ)の式で説明されることが多かった。しかし、アルミ箔等に発生するピンホールの場合、漏れ孔の直径dに対する漏れ孔の長さl (l/d比)が小さくなるため、層流の式では説明できないことが懸念された。本研究では、ステンレス薄板にレーザー加工で孔をあけることにより、ピンホール試料を作製し、ピンホールを通過する空気リーク量を測定し、解析した。
表面科学講演大会講演要旨集
表面科学学術講演会要旨集
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