日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2020年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1P54
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11月19日
ピンホールからのリーク量の解析
*吉田 肇, 平田 真央, 原 努, 樋口 泰彦
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抄録

これまで漏れ孔径とリーク量の関係は、層流(ハーゲン-ポアズイユ)の式で説明されることが多かった。しかし、アルミ箔等に発生するピンホールの場合、漏れ孔の直径dに対する漏れ孔の長さl (l/d比)が小さくなるため、層流の式では説明できないことが懸念された。本研究では、ステンレス薄板にレーザー加工で孔をあけることにより、ピンホール試料を作製し、ピンホールを通過する空気リーク量を測定し、解析した。

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© 2020 日本表面真空学会学術講演会
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