日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2Ep01
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2021年11月4日
ビルドアップによるVacuum firingの効果の検証
*神谷 潤一郎高野 一弘和田 薫
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抄録

これまでVacuum firingによる材料中水素濃度の低減が示されているが、放出ガス速度は通常のベーキングのみをした場合と比較して明らかに低いという報告はない。今回vacuum firing実施、未実施の真空容器について、ビルドアップ試験により放出ガス特性に有意な差がでることがわかったので報告する。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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