0.2%Be-Cu材料で作製した小型真空プロセス容器の特性評価

抄録

0.2%Be-Cuは、SUS対比で13倍の高熱伝導、1/7以下の低熱輻射、低脱ガスなどの特性があり超高真空用真空計に適用されている。半導体多品種少量生産スキームであるミニマルファブシステムでは小型真空容器を使用するが真空容器表面品質のプロセスへの影響が必然的に大きくなる。今回SUS製のミニマル装置の真空容器と同等の容器を0.2%Be-Cu で作製し、真空プロセス容器としての優位性を確認した。