反応性スパッタで作製した酸化タングステン薄膜におけるエレクトロクロミック特性の消色電圧依存性

抄録

我々は、代表的なEC材料であるWO₃膜（膜厚1000 nm）において着色時に5％以下の透過率を実現できた。しかし、この際には消色後の透過率が製膜直後の値まで回復しなかった。今回は、着色電圧を固定し、消色電圧を+1.2 ~ +2.0 Vの範囲で変化させ、消色後の透過率の回復を試みた。消色電圧が大きくなるに伴って消色後の透過率が回復し、＋1.8 Vでは、消色後の透過率が製膜直後の値の97 %まで回復した。