日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 3Ca05
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2021年11月5日
グラフェンのH+透過能評価に向けた低速H+照射装置の開発
*寺澤 知潮福谷 克之保田 諭朝岡 秀人
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抄録

グラフェンの水素イオン透過の機構解明のため、高エネルギー分解能を持つ低速水素イオン照射装置を開発した。20 eVの運動エネルギーを持つイオンを静電半球型のモノクロメータを通過させ0.5 eV程度のエネルギー分解能を得た。Wien型のフィルタを用いてH+とH2+の分離にも成功した。本装置開発によりグラフェンのH+やD+といった水素イオンの透過機構が解明されると期待できる。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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