AFM力センサーの動的ばね定数における探針質量効果

抄録

周波数変調原子間力顕微鏡(FM-AFM)の力センサーにおける曲げ振動と伸縮振動について、探針の質量が振動に与える影響を考察した。探針の質量が増加すると、振動数と動的ばね定数は双方においてそれぞれ減少することが求められた。減少割合は伸縮振動の方が大きく、長辺型水晶振動子(LER)等の伸縮振動を用いる力センサーの場合、探針の質量を考慮に入れて原子間力を求める必要があることが示唆された。