フェムト秒レーザを用いた酸化チタン皮膜の表面改質

抄録

エアロゾルビームにより酸化チタン皮膜を生成し、皮膜表面にフェムト秒レーザを照射した。レーザ照射後の照射領域において電気抵抗の変化が見られた。本講演ではレーザ照射条件を変化させた場合における電気抵抗の変化について述べる。