酸化銀還元反応を利用した金属-AlN接合

抄録

本研究では、実用化が進むAlNセラミックス基板と金属の直接接合を目的とし、酸化銀を還元溶剤で還元してその場生成したAgナノ粒子を用いた低温焼結接合法で金属-AlN直接接合を達成した。また得られた継手のせん断強度試験、破面観察、断面観察により接合性の評価を行った。