酸化銀還元によりその場生成した銀ナノ粒子の焼結を利用した金属－AlN接合

抄録

本研究では、酸化銀還元によって接合部でその場生成したAgナノ粒子の焼結を利用して金属-AlN直接接合を行った。継手のAg/AlN界面には反応層のようなものは確認されず、直接接合していた。さらに、得られた継手に対しせん断強度試験、破面観察、断面観察を行い接合部に形成される組織の評価を行った。