FSWの内部欠陥発生に関するインプロセス検出方法

抄録

FSWにおいて，温度は適切に施工できているかを判断するための重要なパラメータのひとつである．よって筆者らはツール内部の複数点の温度をリアルタイム且つ無線で取得するシステムを開発した．また，本システムを使用して，開先面の一部に欠陥を模擬した材料を突合せ接合した際，欠陥部において温度変化が見られたことから，本システムを使用することで接合中に発生した欠陥を検知できる可能性があることがわかった．