感光材料塗布乾燥プロセスにおける空調システムの温度制御
1997 年 23 巻 6 号 p. 899-905
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1997 年 23 巻 6 号 p. 899-905
感光材料塗布乾燥プロセスにおける空調システムを対象として, 乾燥に用いられる空気の温度制御を行うフィードフォワード/フィードバック制御システムを開発した.本制御システムは, 既に開発された熱交換器モデルの制御量である空気温度と操作量である温水流量との静的な関係を用いるフィードフォワード制御, および同モデルより導出した線形化モデルに基き, 最適制御理論により設計したフィードバック制御より構成される.感光材料塗布乾燥プロセスにおいては, 銘柄切り替えの際, 製品品質を一定に保つために, 次銘柄の生産開始時に迅速かつ安定に温度設定値が変更される必要がある.これに対して, 本制御システムが良好な制御性を達成することが, シミュレーションと制御実験により確認された.
