光リソグラフィー : コンピューター技術を支える光印刷(<特集>おもしろい光化学 : 基礎から応用まで)

抄録

「情報化社会」「情報化時代」, 「情報……」と言われて久しい。「情報化」の波は既に我々の日常生活のレベルにまで押しよせている。身の回りのもので昔に比べて格段に便利になったものを考えてみよう。大なり小なりコンピューターによる情報処理が関係している場合が多いのに気付くはずである。より大量に, より速く, 情報を伝達, 整理したい, より小さな, より軽い道具でそれを実現したい, との欲求の下, すさまじい技術革新がなされている。「光」と「化学」はここでも大活躍をしている。迅速な情報処理技術を支えているのは, コンピューターの一つ一つの素子である。本稿では, コンピューターのLSI(大規模集積回路)作りの基礎, 光印刷, 光リソグラフィーについて概観する。