福岡教育大学教育学部理科教育研究ユニット
2023 年 58 巻 2 号 p. 76-79
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2探針走査トンネル顕微鏡（STM）による半導体表面の電気伝導測定において，金属探針と半導体表面間にSchottky障壁が形成されるため，大きな接触抵抗を示すことが問題であった．本稿では，探針－表面間における再現性の良いOhmic接触の形成が電気伝導測定にとっていかに重要であるかを紹介する．本手法とSTMリソグラフィーを組み合わせることで様々な表面ナノ領域の電気伝導特性を調べることが可能となる．
電子顕微鏡
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