顕微鏡
Online ISSN : 2434-2386
Print ISSN : 1349-0958
最近の研究と技術
複数の像検出器を搭載した極低加速電圧走査電子顕微鏡―“sweet spot”条件で観察し分析する―
佐藤 馨名越 正泰中村 貴也井本 浩史
著者情報
ジャーナル 認証あり

2025 年 60 巻 1 号 p. 37-40

詳細
抄録

走査電子顕微鏡(SEM)の歴史を振り返り,今日普及してきた複数の検出器を搭載した極低加速電圧SEMの位置づけとその活用法について述べた.二次電子像,反射電子像共に装置の信号アクセプタンスを理解し“sweet spot”を見つければ,SEMならではの豊かな像を観察できる.短い作動距離での測定を可能にする配置でウィンドウレス型X線分光装置を活用することで,像観察のsweet spotと同じ実験条件でX線微小部分析も実現した.

著者関連情報
© 2025 公益社団法人 日本顕微鏡学会
前の記事 次の記事
feedback
Top