JFEテクノリサーチ
2025 年 60 巻 1 号 p. 37-40
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
走査電子顕微鏡（SEM）の歴史を振り返り，今日普及してきた複数の検出器を搭載した極低加速電圧SEMの位置づけとその活用法について述べた．二次電子像，反射電子像共に装置の信号アクセプタンスを理解し“sweet spot”を見つければ，SEMならではの豊かな像を観察できる．短い作動距離での測定を可能にする配置でウィンドウレス型X線分光装置を活用することで，像観察のsweet spotと同じ実験条件でX線微小部分析も実現した．
電子顕微鏡
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら
