JFEテクノリサーチ
2025 年 60 巻 1 号 p. 37-40
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走査電子顕微鏡(SEM)の歴史を振り返り,今日普及してきた複数の検出器を搭載した極低加速電圧SEMの位置づけとその活用法について述べた.二次電子像,反射電子像共に装置の信号アクセプタンスを理解し“sweet spot”を見つければ,SEMならではの豊かな像を観察できる.短い作動距離での測定を可能にする配置でウィンドウレス型X線分光装置を活用することで,像観察のsweet spotと同じ実験条件でX線微小部分析も実現した.
電子顕微鏡
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