飛行時間型二次イオン質量分析法

高分子

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飛行時間型二次イオン質量分析法

石谷炯

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解説誌・一般情報誌フリー

1994 年 43 巻 2 号 p. 90-93,97

DOI https://doi.org/10.1295/kobunshi.43.90

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抄録

二次イオン質量分析法(SIMS)の分野で特にポリマー材料への応用が期待されている飛行時間型(Time of Flight) SIMS(TOF・SIMS)について原理,装置,分析能力,応用例について述べ,そのポテンシャルについて展望した.

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