マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第25回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第25回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
表面活性化接合法に基づいたSiC-SiC とSiC-Si ウェハ接合
*母 鳳文, 藤野 真久, 須賀 唯知, 井口 研一, 中澤 治雄, 高橋 良和
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p. 151-154

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