顕微ラマン分光法による多層電極付n型β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>結晶の高温状態における熱応力解析に関する研究

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.32.0_115

会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

顕微ラマン分光法による多層電極付n型β-Ga₂O₃結晶の高温状態における熱応力解析に関する研究

*各務良哉, 須田潤

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会議録・要旨集フリー

p. 115-116

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