マテリアルライフ学会誌
Online ISSN : 2185-7016
Print ISSN : 1346-0633
ISSN-L : 1346-0633
ノート
電気銅めっきに用いるポリエチレングリコール誘導体の合成とその効果
丸山 貴昭, 松原 敏明, 杉本 将治, 本間 英夫, 香西 博明
著者情報
キーワード: Copper electroplating, Additives, Suppressor, Polyethylene glycol derivatives, Via-filling
ジャーナル フリー

2009 年 21 巻 3 号 p. 132-135

詳細
PDFをダウンロード (622K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2009 マテリアルライフ学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
前身誌

マテリアルライフ

このページを共有する
feedback
 Top