SAICAS法による薄膜の付着強度測定法

抄録

膜厚が1μmオーダの薄膜の付着強度評価を行うため, SAICAS法の測定方法を検討した. 試料の固定方法および切刃稜の試料表面合わせ方法を改良した結果, 薄膜の付着強度を定量的に測定することが可能となった。