ディスプレイ用プラスチック基板への光学膜コーティング技術

マテリアルライフ学会誌

Online ISSN : 2185-7016
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ディスプレイ用プラスチック基板への光学膜コーティング技術

新技術デジタルスパッタリング

田部井雅利

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キーワード: メタモードスパッタ, 反射防止膜, 真空低温成膜

ジャーナルフリー

2006 年 18 巻 4 号 p. 170-174

DOI https://doi.org/10.11338/mls2001.18.170

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