トライボロジー現象のトライボロジー現象の古典分子動力学解析

抄録

金属やシリコンウエハ表面の摩擦・摩耗，加工，原子間力顕微鏡観察といったトライボロジーに関連した現象のメカニズムを解明するため，平面ひずみモデル，三次元モデル，原子間力ポテンシャルの制御という手法を用いて試みた，古典分子動力学シミュレーションの事例を複数紹介する．そこには，原子レベルで現象を解明する目的のみならず，実験では実現し難い，超高速や超高周波といった環境における現象を予測する目的の検討も含まれている．