オーステナイト系ステンレス鋼に成膜した種々の多層DLC膜の機械的特性

抄録

1層あたりの厚さおよび積層回数の異なる多層Si-DLC/DLC膜をオーステナイト系ステンレス鋼に成膜した。膜の密着性および耐摩耗性に及ぼす積層回数および膜厚比の影響を調査した。成膜した試料に対し，ナノインデンテーション，ロックウェル圧痕，スクラッチ，摩擦摩耗および剥離試験を行った。スクラッチ試験より，膜の密着性は積層数が2から4に増加するととともに改善したが，基材側の膜厚が薄い場合および積層数が8層の場合に密着性が低下した。剥離試験より，剥離距離は4層成膜した試料中で基材側に表面側よりも厚い膜が成膜された試料の方が，薄い膜が成膜された試料よりも増大した。