プロセスとプロダクトのイノベーションを生み出す分子接合技術

抄録

分子接合技術は，材料A と化学反応する官能基と，材料B と化学的に反応する官能基から構成された2 官能性化合物X（分子接合剤）を用いて，材料A と材料B 間を共有結合で接合する技術である。本技術を応用することにより，超ファインパターン形成，スパッタリング，レジストを使わない低コス化が可能となり，プロセスとプロダクトのイノベーションを生み出すことが期待できる。