プラズマ重合による架橋ポリマーの生成反応

抄録

プラズマ重合法とはプラズマ中の活性種を利用して有機分子の解離, 結合を繰り返して高密度に橋架けした高分子薄膜を得る方法である。プラズマ重合膜は, ピンホールフリーかつ機械的に強固な薄膜なので幅広い分野で注目され, 応用されている。本稿では, プラズマ重合膜の生成機構と, IR, 固体高分解能NMR, ESCAなどの手法による薄膜の構造解析の現状について解説する。また, 最近活発に研究が行われるようになった金属含有プラズマ重合膜の構造やモルホロジーについても紹介する。