日本伝熱シンポジウム講演論文集
日本伝熱学会創立50周年記念第48回日本伝熱シンポジウム
セッションID: I221
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I22 OS MEMSと伝熱5
レーザー誘起誘電泳動を用いた新しい小型拡散センサーに関する研究
第二報:オンチップ化が可能な信号光検知手法の提案
猪谷 恒一*石井 陽平田口 良広長坂 雄次
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会議録・要旨集 認証あり

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抄録
本研究では光誘起誘電泳動を用いて, 液体試料の拡散係数を微少サンプル量,かつ高速測定が可能な新しいMEMS拡散センサーの開発を目的としている. 交流電圧を印加した流路底面の光導電膜に2光束干渉させた励起光を照射し, 誘電泳動により正弦波状の濃度分布を形成する. その後交流電圧の印加を停止すると, 濃度が均一になるように物質拡散が起きる. この物質拡散の様子を観測することで, 拡散係数の測定を行うことができる.本報ではオンチップ化に適した観測手法を提案し, 実験的に検証したので報告する.
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© 2011 社団法人 日本伝熱学会
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