研究紹介
イオン・スパッタリングによる金属表面上のパターン形成
2004 年 73 巻 12 号 p. 1554-1557
詳細
2004 年 73 巻 12 号 p. 1554-1557
イオン・スパッタリングを用いることによりナノ・サイズのパターンを金属表面上に形成することができる．パターンは自己組織化的に形成される．室温，大気中でパターンを安定化させるためには金属原子の表面拡散を抑制しなければならないが，それには表面への酸素吸着が有効であることがわかった．またイオン・スパッタリングにより磁性金属薄膜上にパターンを形成し，薄膜の磁化異方性を制御することに成功した．
