抄録
GaNの電子デバイスは，これまで高周波デバイスとしての研究が主体であった．しかし近年，パワーデバイスとしての可能性が注目されるようになり，研究も活発化している．現状のGaNパワーデバイスは高周波デバイスを基本としているが，それとは異なる観点での技術開発が必要となる．本稿では，GaNパワーデバイス実現に必要なプロセスおよびデバイスの現状を説明し，今後の課題について考察する．
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GaNの電子デバイスは，これまで高周波デバイスとしての研究が主体であった．しかし近年，パワーデバイスとしての可能性が注目されるようになり，研究も活発化している．現状のGaNパワーデバイスは高周波デバイスを基本としているが，それとは異なる観点での技術開発が必要となる．本稿では，GaNパワーデバイス実現に必要なプロセスおよびデバイスの現状を説明し，今後の課題について考察する．