応用物理
Online ISSN : 2188-2290
Print ISSN : 0369-8009
基礎講座
GaNパワーデバイス技術
加地 徹
著者情報
ジャーナル 認証あり

2005 年 74 巻 5 号 p. 628-633

詳細
抄録

GaNの電子デバイスは,これまで高周波デバイスとしての研究が主体であった.しかし近年,パワーデバイスとしての可能性が注目されるようになり,研究も活発化している.現状のGaNパワーデバイスは高周波デバイスを基本としているが,それとは異なる観点での技術開発が必要となる.本稿では,GaNパワーデバイス実現に必要なプロセスおよびデバイスの現状を説明し,今後の課題について考察する.

著者関連情報
© 2005 公益社団法人応用物理学会
前の記事
feedback
Top