名古屋大学大学院 工学研究科
2008 年 77 巻 1 号 p. 31-35
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酸化物高温超伝導ジョセフソン接合を用いて単一磁束量子回路を構成すると,テラヘルツ領域でも動作する超高速低消費電力デジタル集積回路の実現が期待できる.従来は構造の単純さから,高温超伝導薄膜をエッチングした薄膜側壁にジョセフソン接合のトンネル障壁層を形成するランプエッジ構造が主流であったが,最近では,より集積化に適した積層構造のジョセフソン接合も高い性能を発揮できるようになってきた.本稿では,高温超伝導ジョセフソン接合の最近の動向に関して,筆者らのグループの研究を中心に紹介する.
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