二酸化チタン透明導電材料のフロンティア

抄録

二酸化チタン（TiO₂）を母物質とした透明導電材料の現状と展望について報告する．現在，ガラス上において抵抗率6.4×10^-4Ω⋅cmを実現しており，応用研究の対象として検討できる段階に入っている．作製方法は非常に簡単であり，アモルファス薄膜から結晶化する手法を用いる．最近では，大気アニールによって低抵抗薄膜を得ることができるようになった．応用に向けては，“TiO₂ ならでは”の特徴をいかに活かすかがカギを握っている．