最近の展望
ITRS 2007におけるBeyond CMOS材料探索
2008 年 77 巻 3 号 p. 277-280
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2008 年 77 巻 3 号 p. 277-280
国際半導体技術ロードマップ（ITRS）に2007年版から新しい章“新探究材料（ERM）”が加わった．ERMのスコープは，半導体にかかわる材料への開発要求を幅広く探索し，材料研究者に示していくことにある．本稿では，2007年版ERMの概要とともに，その中から，本小特集のテーマであるBeyond CMOSデバイスを対象とする新探究デバイス（ERD）関連で取り上げられた材料を中心に紹介する．
